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磁棒
  • 产品简介

磁棒

  端头特点：
  
  1.采用全封闭式铝型材结构，将磁铁及磁轭部分完全与靶筒内的冷却水分隔开，避免因长期浸水腐蚀引起的磁场变化
  
  2.型材式结构大幅加强了磁钢的刚性，避免磁钢变形与靶筒发生摩擦产生的磁场变化
  
  3.磁场调整结构采用螺纹式设计，使得磁场均匀性的调整更加精密
  
  4.出水孔的独特设计使冷却水有效冷却溅射靶材的高温区，冷却效果更佳
  
  5.安装维护简易方便
  
  端头参数：

类型
参数

MB3300

MB2540

MB1400

磁棒长度（mm）

3850

3192

1920

表面磁场强度

>550GS

磁场均匀性

≤±1.0%

磁场可调范围

≤±25%

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